摘要：提出一種基于動(dòng)態(tài)差壓法測(cè)量固定流導(dǎo)元件流導(dǎo)的新方法。固定流導(dǎo)元件是以陽極多孔氧化鋁(AAO)為模板制作而成。在測(cè)量流導(dǎo)過程中,通過測(cè)量連接AAO固定流導(dǎo)元件兩端的容器的動(dòng)態(tài)差壓變化關(guān)系,運(yùn)用最小二乘法對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行指數(shù)函數(shù)擬合,計(jì)算出AAO固定流導(dǎo)元件的流導(dǎo)值。分別以氮?dú)?、氦氣和氬氣作為?shí)驗(yàn)氣體對(duì)AAO固定流導(dǎo)元件的流導(dǎo)進(jìn)行了測(cè)量。結(jié)果表明,在大氣壓力以下,AAO固定流導(dǎo)元件的流導(dǎo)不隨入口壓力變化而變化,始終保持恒定。對(duì)He、起始?jí)毫?0 kPa、初始?jí)翰顬?.97 kPa、測(cè)量時(shí)間為60 s的測(cè)試點(diǎn)進(jìn)行了不確定度評(píng)定,其相對(duì)合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為13%。對(duì)評(píng)定過程進(jìn)行分析,發(fā)現(xiàn)測(cè)量點(diǎn)的不確定度隨測(cè)量時(shí)間的增加急劇增大。該流導(dǎo)測(cè)量裝置的測(cè)量范圍為1×10^-4~1×10^-7 m3/s,此方法具有操作簡(jiǎn)便、結(jié)果精確等優(yōu)點(diǎn)。