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四氯化硅冷氫化技術(shù)研究進(jìn)展

摘要:綜述了冷氫化法制備三氯氫硅中四氯化硅反應(yīng)機(jī)理、反應(yīng)條件、催化劑、無(wú)水氯化氫和能量綜合利用的最新進(jìn)展。

關(guān)鍵詞:
  • 四氯化硅  
  • 三氯氫硅  
  • 多晶硅  
  • 冷氫化  
作者:
沈峰; 陳其國(guó); 潘維杰
單位:
江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司; 江蘇徐州221004
刊名:
中國(guó)氯堿

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期刊名稱:中國(guó)氯堿

中國(guó)氯堿雜志由中國(guó)氯堿工業(yè)協(xié)會(huì)主辦,中國(guó)氯堿工業(yè)協(xié)會(huì)主管的學(xué)術(shù)刊物,國(guó)內(nèi)刊號(hào)為:12-1221/TQ。創(chuàng)辦于1981年,月刊,在全國(guó)同類期刊中發(fā)行數(shù)量名列前茅。其主要欄目有:專論與綜述、企業(yè)信息、燒堿、政策信息、綜合信息、聚氯乙烯、設(shè)備與防腐、檢測(cè)自控、安全環(huán)保、節(jié)能減排、其他等。