摘要：本文提出了一種基于多級(jí)微反射鏡和柵格分束器的靜態(tài)輕型傅立葉紅外變換光譜儀,通過(guò)兩個(gè)多級(jí)微反射鏡實(shí)現(xiàn)光程差的空間離散和干涉圖的靜態(tài)二維采樣,通過(guò)引入柵格分束器有效降低了系統(tǒng)的體積和重量。作為該光譜儀的核心光學(xué)器件,多級(jí)微反射鏡的階梯高度一致性、面型平整度和結(jié)構(gòu)精度是決定采樣間隔、分辨率和噪聲等儀器指標(biāo)的主要因素。本文提出了基于MOEMS技術(shù)的厚度依次減半多層膜法,制作了臺(tái)階高度為0.625μm,階梯數(shù)為32的低階梯多級(jí)微反射鏡。測(cè)得實(shí)際階梯高度平均值為626.9nm,表面粗糙度均方根值為1.72nm。分析了階梯高度誤差對(duì)光譜復(fù)原的影響,提出了兩種階梯高度誤差校正方法,分別為通過(guò)修正因子來(lái)減小膜厚監(jiān)控誤差,和利用最小二乘余弦多項(xiàng)式算法對(duì)復(fù)原光譜進(jìn)行校正。校正后的復(fù)原光譜誤差(SCE)降低為2.34%,滿足系統(tǒng)對(duì)光譜復(fù)原的要求。最后,將該低階梯多級(jí)微反射鏡置入光譜儀中,得到乙腈樣品的干涉圖和復(fù)原光譜圖。