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基于聲表面波紙基微流器件研究

摘要:為了降低工藝要求和制作成本,提出了壓電基片上紙基微流器件制作方法。采用焊錫絲構(gòu)建微通道圖案,通過聚二甲基硅氧烷(PDMS)固化、剝離焊錫絲、填入棉線、棉線吸收未固化PDMS等工藝過程,將圖案轉(zhuǎn)印于紙基片,并貼合于128°YX-LiNbO3壓電基片上。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,電信號(hào)功率為27.3dBm時(shí),在研制器件上實(shí)現(xiàn)淀粉顯色反應(yīng),驗(yàn)證其微流分析功能。

關(guān)鍵詞:
  • 聲表面波  
  • 紙基微流器件  
  • 輸運(yùn)  
  • 叉指換能器  
  • 顯色反應(yīng)  
作者:
章安良; 董良威
單位:
武夷學(xué)院微電子系; 福建武夷山354300; 常州工學(xué)院電子系; 江蘇常州213022
刊名:
壓電與聲光

注:因版權(quán)方要求,不能公開全文,如需全文,請(qǐng)咨詢雜志社

期刊名稱:壓電與聲光

壓電與聲光雜志緊跟學(xué)術(shù)前沿,緊貼讀者,國(guó)內(nèi)刊號(hào)為:50-1091/TN。堅(jiān)持指導(dǎo)性與實(shí)用性相結(jié)合的原則,創(chuàng)辦于1979年,雜志在全國(guó)同類期刊中發(fā)行數(shù)量名列前茅。