摘要：采用化學(xué)氣相沉積(CVD)法成功制備了紅外材料硫化鋅(ZnS),利用X射線光電子能譜儀(XPS)、X射線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)和傅里葉紅外光譜儀(FTIR)對(duì)ZnS樣品的組分、相結(jié)構(gòu)、表面形貌和光學(xué)性能進(jìn)行表征分析。研究結(jié)果表明:沉積溫度較低時(shí),ZnS為立方結(jié)構(gòu),隨著沉積溫度升高,有少量六方結(jié)構(gòu)ZnS生成;ZnS中原子比Zn/S大于1,Zn原子含量隨沉積溫度的升高逐漸減少,提高沉積溫度可抑制ZnH2的生成,過(guò)高的沉積溫度則降低了ZnS的光學(xué)性能;沉積溫度為620 ℃時(shí),ZnS表面微孔少,光學(xué)性能良好。