摘要：采用第一性原理計(jì)算方法對(duì)磷原子在金剛石(001)表面上的吸附和遷移行為進(jìn)行了系統(tǒng)研究.結(jié)果表明:在全氫終止金剛石(001)表面上,磷原子不能夠穩(wěn)定吸附.當(dāng)氫終止表面上出現(xiàn)1個(gè)、2個(gè)活性位時(shí),磷原子可以在活性位處穩(wěn)定吸附,吸附能為2.8至4.5 eV.分波態(tài)密度分析表明:磷原子吸附后,仍然有未成對(duì)電子,保持化學(xué)活性,有利于后續(xù)沉積粒子的吸附.當(dāng)氫終止表面上出現(xiàn)3個(gè)活性位時(shí),磷原子可以在活性位處吸附,并且可以在活性位之間遷移.遷移激活能小于1.7 eV.綜上所述,磷原子在金剛石(001)表面上的吸附和遷移行為與表面上活性位的數(shù)量和分布密切相關(guān).