摘要：針對(duì)傳統(tǒng)加工技術(shù)存在表面損傷、加工效率低的問題,將極具前景的面接觸式超精密磁流變拋光技術(shù)應(yīng)用到3C制造業(yè)中。對(duì)圓柱型永磁體磁流變拋光頭在加工過程中的拋光墊的形貌進(jìn)行了研究分析,發(fā)現(xiàn)圓柱型永磁體磁流變拋光頭在加工過程中存在一種"環(huán)狀效應(yīng)",利用"環(huán)狀效應(yīng)"對(duì)圓柱型永磁體磁流變拋光頭進(jìn)行了結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),并對(duì)其進(jìn)行了設(shè)計(jì)理念分析;對(duì)圓柱型永磁體拋光頭在6061的鋁合金工件上進(jìn)行了單因素拋光實(shí)驗(yàn),通過實(shí)驗(yàn)獲得了最優(yōu)參數(shù)。研究結(jié)果表明:該圓柱型永磁體磁流變拋光頭能夠?qū)崿F(xiàn)環(huán)狀加工區(qū)域的高效光滑平坦化加工,工件表面粗糙度達(dá)到52 nm,材料去除率達(dá)9.1μm/min,大大提高了磁流變拋光的效率,為面形精度在微米級(jí)的超光滑平面的制造提供了一種高效的加工方法。