摘要：針對(duì)目前滾動(dòng)直線(xiàn)導(dǎo)軌副垂直、傾斜、俯仰靜剛度測(cè)量效率和精度難以兼顧的現(xiàn)狀,提出一種效率高且準(zhǔn)確性高,一次操作就可測(cè)量出導(dǎo)軌副垂直、傾斜、俯仰3種靜剛度的測(cè)量方法并設(shè)計(jì)了測(cè)量裝置。該測(cè)量方法首先進(jìn)行干擾項(xiàng)隔離,將垂直、傾斜靜剛度的測(cè)量與俯仰靜剛度隔離開(kāi),進(jìn)而運(yùn)用參數(shù)分離技術(shù)將加載力及導(dǎo)軌副變形量等效分解到垂直、傾斜、俯仰方向,實(shí)現(xiàn)3種靜剛度的高效高精測(cè)量。結(jié)果表明:該裝置及方法能夠有效提高導(dǎo)軌副靜剛度測(cè)量效率及精度,與現(xiàn)有成熟技術(shù)相比,效率提升81%,所測(cè)垂直、傾斜、俯仰靜剛度精度分別提升5.1%、5.4%、6.6%,可為滾動(dòng)直線(xiàn)導(dǎo)軌副靜剛度測(cè)評(píng)效率的提升及其高剛性設(shè)計(jì)提供參考。