摘要：在對微納材料光學(xué)特性表征中,需要獲得分辨率更高的波長和強度的熒光圖像。普通的顯微鏡無法滿足測試的要求,因此將普通的成像顯微鏡、光譜儀以及納米移動臺組成激光掃描顯微鏡成像系統(tǒng),并利用LabVIEW開發(fā)了一套完整的集二維掃描采集與信號圖像處理一體的系統(tǒng)上位機軟件。掃描采集過程使用了低通濾波等數(shù)字信號處理方法消除光譜儀信號噪聲的影響。利用本系統(tǒng)測量硒化鎘納米帶、單層二硫化鉬得到了熒光強度圖像以及熒光峰值波長圖像,能分辨出最小波長為0.03 nm的熒光。將采集長度與實際長度進行比較并分析熒光強度差異,取得了較好的效果。