摘要：針對干涉測量中采集到的波面數(shù)據(jù)是大量離散采樣點不易尋找單位圓用于波面擬合的問題,提出了一種凸殼理論圓域擬合的方法。方法對采集的波面數(shù)據(jù)尋找最小覆蓋圓,經(jīng)歸一化后以圓Zernike為基底進行波面擬合。利用Matlab仿真分析算法的性能,對實測數(shù)據(jù)經(jīng)過處理后與ZYGO測試數(shù)據(jù)進行對比分析得到面型PV值的絕對誤差為0.0047λ,RMS值的絕對誤差為0.0002λ。實驗表明算法可對采集的大量離散波面數(shù)據(jù)進行高效準確的Zernike波面擬合,為進一步光學元件面型像差的分析提供可靠依據(jù)。