摘要：基于掃描電子顯微鏡(SEM)的X射線顯微成像是利用SEM的微聚焦電子束轟擊金屬靶材產生的低能X射線對樣品進行投影成像,可為低原子序數材料提供的一種無損檢測手段.其中,靶材是影響著X射線成像質量的一個重要因素.本文利用蒙特卡羅方法模擬計算了靶材的材料和靶材與電子束作用面的傾角與探測器接收到的X射線強度的關系,仿真結果表明靶材作用面在與水平面傾角為60°時有最佳的X射線出射率;此外,在該傾角下的靶材產生的X射線強度分布均勻;實驗結果也驗證了這些結論.最后,使用不同材質的靶材對楊樹葉樣品進行成像實驗,結果表明鎢靶材具有較好的亮度和對比度,更適合X射線顯微成像.