摘要:采用Zemax光學(xué)設(shè)計軟件進行干涉模擬,建立傳統(tǒng)菲索干涉儀結(jié)構(gòu);對標(biāo)準(zhǔn)鏡調(diào)整和面形誤差對測量結(jié)果的影響做出模擬分析,得出對標(biāo)準(zhǔn)鏡引入傾斜將會帶來像差;分析了標(biāo)準(zhǔn)鏡前后表面面形誤差對測量結(jié)果的影響。
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