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標(biāo)準(zhǔn)鏡調(diào)整和面形誤差對干涉測量的影響

摘要:采用Zemax光學(xué)設(shè)計軟件進行干涉模擬,建立傳統(tǒng)菲索干涉儀結(jié)構(gòu);對標(biāo)準(zhǔn)鏡調(diào)整和面形誤差對測量結(jié)果的影響做出模擬分析,得出對標(biāo)準(zhǔn)鏡引入傾斜將會帶來像差;分析了標(biāo)準(zhǔn)鏡前后表面面形誤差對測量結(jié)果的影響。

關(guān)鍵詞:
  • 菲索干涉儀  
  • 標(biāo)準(zhǔn)鏡  
  • 波像差  
作者:
曹曉君; 鄭建洲; 王麗梅; 曲艷玲; 武松林
單位:
大連民族大學(xué)物理與材料工程學(xué)院; 遼寧大連116605
刊名:
大連民族學(xué)院學(xué)報

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